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点击次数:1404 发布时间:2015-10-29

    一个理想的真空系统或者真空容器,应当是不存在任何漏孔,更不会产生任何漏气现象的。但是,就任何真空系统或真空阀来说,不漏的现象是不可能的。特别是在压力极低的情况下,随着漏气现象的影响不断加剧,真空度达不到预定的工艺要求,是一个相当普遍的问题。因此,在检测真空阀或真空系统存在的漏气部位、确定漏孔的大小、堵塞漏孔从而消除漏气现象,就成为真空技术工作者的一项重要工作。

    所谓漏气或称实漏,它是指气体通过真空系统上的漏孔或间隙,从高压侧流向低压侧的一种现象。真空阀检漏技术中的一些常用基本概念有九点。

    其一称为虚漏,它是相对于实漏而言的一种物理现象。这种现象大都是由于材料的放气、解吸、凝解气体的再蒸发或真空系统内存在死空间中气体的流出等原因而引起真空系统或真空阀中压力升高检漏的一种现象。真空阀检漏的时候需要排除虚漏的影响。气密性表征着真空系统或容器的壁对空气不渴沉头程度的一种可能。其三是漏孔,所谓的真空阀漏孔是指真空容器上存在形状不定、极其微小的孔洞或间隙。大气通过这种小孔或间隙进入真空系统或容器中。第四点是真空漏率,即为真空阀漏气速率,它代表在的单位时间内通过漏孔或间隙流入到真空系统或容器内的气体量。其五是采用某种检漏方法或真空仪器可能检测出来的zui小漏率。还有检漏灵敏度,或者可称之为有效灵敏度。对于它的相应时间来说,从真空阀检漏方法开始实施到指示方法或真空仪器指示值上升到其zui大值的63%时所需要的时间。而消除时间是指从检漏方法停止到指示方法或仪器指示值下降到停止值的37%所需时间。zui后就是由灰尘或液体所造成的漏孔堵塞,这些堵塞常常是指由于检漏作业操作不当而导致发生的一种暂时现象,真空阀检漏时似乎不漏气,但一经排气又会出现漏气的一种现象,我们把它称为漏孔的堵塞现象。

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